退火设备厂家里真空退火氢含量超过稳定值的钛合金可能发生氢脆。这类钛合金工件必须在退火设备真空热处理炉中退火除氧。
完全退火后不再进行切削加工的精密工件也应采用退火设备真空退火。真空退火时合金晶粒长大倾向较大，因而加热温度不宜过高，保温时间不宜过长，一般采用的规范是540～760℃，保温2—4h。
固溶热处理及时效处理，钛合金高温下的B相可在快速冷却时转变为过饱和的a固溶体。这种过饱和固溶体被称为马氏体，但它本身强度并不太高。B相也能以亚稳定状态在室温保留下来。马氏体和亚稳B相在高于室温的温度保温时，会发生分解，产生弥散分布的细小a相，使合金强度大幅度提高。
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